◆ 各種プラズマ処理用高周波電源及び、自動整合器


　 Model 出力電力/許容電力 備　　考
高周波電源装置 　T857-2, 3 300W ～ 1KW 　
　T857-3A, 4, 5, 10 2 ～ 10KW 　
　T847A 100 W 手動整合器付
自動整合器 　102Y-x 300W ～ 10KW 　


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